Tópicos em micro e nano fabricação de dispositivos semicondutores

Ementa

Introdução, motivação e aplicações da micro e nano fabricação em dispositivos optoeletrônicos
e fotônicos; processos de limpeza de substratos; processos de crescimento de materiais;
processos de litografia (óptica, laser e feixe de elétrons); técnicas de deposição de dielétricos e
metais; técnicas de corrosão seca e úmida; técnicas de implantação para dopagem de materiais;
projeto de fabricação de máscaras litográficas; projeto de micro-fabricação de sistemas
microeletromecânicos (MEMS); projeto de micro e nano fabricação de dispositivos
optoeletrônicos e fotônicos; desenvolvimento de projetos de fabricação para envio à Foundries.