Tópicos em Micro e Nano Fabricação de Dispositivos Semicondutores

Ementa: Introdução, motivação e aplicações da micro e nano fabricação em dispositivos optoeletrônicos e fotônicos; processos de limpeza de substratos; processos de crescimento de materiais; processos de litografia (óptica, laser e feixe de elétrons); técnicas de deposição de dielétricos e metais; técnicas de corrosão seca e úmida; técnicas de implantação para dopagem de materiais; projeto de fabricação de máscaras litográficas; projeto de micro-fabricação de sistemas microeletromecânicos (MEMS); projeto de micro e nano fabricação de dispositivos optoeletrônicos e fotônicos; desenvolvimento de projetos de fabricação para envio à Foundries.

Topics on Micro and Nano Fabrication of Semiconductor Devices

Course Description: In this course, the following will be presented: Introduction, motivation and applications of micro and nano manufacturing in optoelectronic and photonic devices; substrate cleaning processes; material growth processes; lithography (optics, laser and electron beams) processes; dielectric and metal deposition techniques; dry and wet corrosion techniques; implantation techniques for doping materials; design for manufacturing lithographic masks; micro fabrication design of microelectromechanical systems (MEMS); Micro/nano design of optoelectronic and photonic devices; development of manufacturing design for shipment to foundries.